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氦质谱检漏仪标准漏孔价格(氦质谱检漏仪的工作原理)
导语:氦质谱检漏仪标准漏孔介绍
标准漏孔介绍
在标准状态下,漏率已知的校准漏孔,即漏孔一端在环境温度为(23±7)℃,压力为(100±5) kPa,入口压力为(100±5) kPa,出口压力低于1 kPa时的干燥空气通过漏孔的漏率,是已知的一种校准漏孔。
1.渗氦型标准漏孔:
渗氨型标准漏孔一般是由对氦气有较高渗透能力的石英或玻璃吹制成较薄的玻璃泡构成,有一个封闭的或再充气式的金属或玻璃气室。
渗透型漏孔优点:对污染不敏感;长时间内漏率稳定;漏率可以做到很小。
渗透型漏孔缺点:受温度的影响很大;玻璃元件很脆,不能承受机械冲击。
2.玻璃毛细管型标准漏孔:
它是将D1-D3mm的一段玻璃管拉制成1um左右的毛细管而得到。这种漏孔的温度修正量一般很小(<0.005K)。在使用氦气时,漏率应计入氦的渗透量,同时还要考虑温度、时间响应的影响。
3.压扁金属毛细管型标准漏孔:
它是将p4mm×0.1mm的无氧铜管或可伐管用油压机压扁后造成的漏孔。
优点:温度系数低,可以烘烤,不易损坏。
缺点:易堵,尤其是铜漏孔,因氧化而被堵
4.正压通道型标准漏孔:
专有的微通道技术,抗震、抗摔、防堵塞性好,可承受一定压力。真空响应速度快,温度系数低仅为0.1%/C。
标准漏孔的制作技术对比:
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