纳米压痕测试的硬度是什么(纳米压痕测试标准)

导语：纳米压痕测试分析纳米划痕检测硬度杨氏模量断裂韧性

纳米压痕仪

一、纳米压痕原理：

纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术（Depth-Sensing Indentation， DSI)，它通过计算机程序控制载荷发生连续变化，实时测量压痕深度，由于施加的是超低载荷，监测传感器具有优于1nm的位移分辨率，可以达到小到纳米级（0.1~100nm）的压深，它特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料的硬度和力学参数的过程。

二、应用范围：

纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

三、检测项目：

载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。

四、样品要求（形状规则、测试面精细抛光）：

1、样品要求圆柱体或方块体，直径8-30mm，高度2-30mm(方形或圆柱体），测试点距离边缘4mm以上；

2、样品上下面平行，无肉眼可见的倾斜，抛光没有肉眼可见划痕；

3、不规则样品或者太小样品需要镶嵌后抛光处理，表面光洁度要求Ra小于20nm或超光滑表面。

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