实验室气路工程招标的要求有哪些(实验室气路工程招标的要求和标准)

导语：实验室气路工程招标的要求

实验室气路工程招标要求科学、高效、安全、便利的原则。采用不锈钢材质管路以及不锈钢接头卡套，全通阀芯，坚固耐用。

实验室气路工程招标使用先进的自动焊接施工工艺安装管道、减压器、压力表、高压金属软管、钢瓶接头、焊接接头、卡套接头、不锈钢洁净管等。

（1）易燃性气体

把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B2H6的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H2,NH3,PH3,DCS,ClF3。

（2）毒性气体（ToxicGas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3,B2H6,PH3等气体的毒性较大，它们的阈限值TLV（ThresholdLimitedValve）分别只有50×10-9,100×10-9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO,C4F6,C5F8,NF3,CH3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（CorrosiveGas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl,HF,PCl3,SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(InertGas)：隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2F6,CF4,SF6,CHF3等。

（5）氧化性气体（OxideGas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3,Cl2,NF3等。

不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中严格，一般对于P级要求（×10-9级）制程气体的输送，均要求采用SUS316材质的EP(ElectronicPolishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA（BrightAnneal）管材。

SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/ColdRolling）、溶接(Welding)、热处理(Hottreatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。使用先进的自动焊接施工工艺安装管道、减压器、压力表、高压金属软管、钢瓶接头、焊接接头、卡套接头、不锈钢洁净管等。

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