什么是超净间(超净间的应用范围)

导语：超净间 ① 超净间的建设丨半导体行业

超净间（Clean Room）也叫洁净室，是指将一定空间范围内空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物排出，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、照明及静电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。不论外在空气条件如何变化，其室内都能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等。超净间最主要的作用在于控制半导体芯片所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产和制造。

建筑材料：超净间所用的建筑材料都应是不易脱落的材料，所有的管道口都要密封，可以采用不锈钢材料制造工作台。

空气控制系统：普通的空气中含有大量微粒或浮尘等污染物，只有经过处理后才能进入超净间。超净间的洁净度是由空气中微粒的大小和微粒的含量来决定的。通过天花板的HEPA过滤器实现空气过滤，并从地板上回收空气，保持持续的洁净空气流。

温湿度控制系统：半导体超净间的温湿度控制是个重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。温度控制对操作员的舒适性和工艺控制都是很重要的，特别是在利用化学溶剂作刻蚀和清洗的工艺时，化学反应会随温度的变化而不同。相对湿度也是一个非常重要的工艺参数，尤其在光刻工艺中，如果湿度过大，晶圆表面太潮湿，会影响聚合物的结合，如果湿度过低，晶圆表面会产生静电，这些静电会在空气中吸附微粒。

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