从PN结到二极管基础
一,二极管初步理解
二极管在我们这个世界非常重要,从广义来说它是绝大多数半导体器件的最基本单元,是信息处理的三大基本单元的重要组成部分:信息处理、信息传输(发送、接收)、信息存储;如果将一颗芯片看成一个世界,那么“二极管”就是组成这个世界的原子。我们前面一章已经介绍了广义的二极管:PN结;本章就来介绍具体的、详细的、狭义的二极管:二极管。二极管是“PN结”所能构成的最简单的半导体器件,看似非常简单,但由于各种不同场景的应用需求,种类却非常繁多。
从原理上来说PN结其实就是二极管,同时PN结的特性就是二极管的基本特性,我们利用PN结的不同特性,并将其某一特性放大,就成为了某一类二极管;如下为PN结的其中一些特性:
1. 整流:利用PN结单向导通特性,将交流整流成直流信号;
2. 开关:利用PN结正向低电压导通、反向截止特性,作为开关组成各种逻辑电路;
3. 钳位:利用PN结正向导通后压降基本保持不变,作为钳位元件限制信号幅度;
4. 检波:利用PN结反向恢复时间特性,从输入模拟信号中提取出调制信号;
5. 变容:利用PN结势垒电容大小随空间电荷区距离变化的特性,实现可变电容;
6. 稳压:利用PN结反向齐纳击穿时电压基本保持不变的特性,达到稳压的目的;
7. 防护:利用PN结反向雪崩击穿时电流随电压指数增加的特性,用于浪涌防护;
8. 发光:利用半导体材料中自由电子从能带被捕获到价带(电子-空穴复合)时释放的电势能直接转化成光能的特性,用于制造光源。
——其它二极管我们为什么看不到它发光呢?。
所以我们根据不同应用需求,将二极管分为:整流二极管,开关二极管,高频二极管,变容二极管,肖特基二极管,稳压二极管,TVS管,发光二极管等等。
虽然所有二极管的基本特性都是一样的:正向导通、反向截止;但我们在选择二极管时,还是需要对不同类型的二极管进行区分,以使其更加适合的用于硬件设计中。
1,二极管工艺制备
硬件工程师不设计二极管,为什么需要去了解二极管的工艺制备流程呢?
从广义来回答这个问题,就是:谁让我们自己选择跳这个坑呢?你也可以试着爬出这个坑再跳其它的。
从狭义来回答这个问题,就是:因为这是一个非常好的直观理解二极管窗口,我们可以了解怎么从半导体材料制作出PN结,然后又变成我们能用的二极管。这样就将上一章节的内容一起融合进来,而不只是停留在理论上。
制作二极管的工艺流程如下步骤及图所示:
1. p-Si材料准备工作:单晶硅片(平整、无缺陷)制备,将硅片表面化学清洗;
2. 氧化:二氧化硅薄膜制备,双面氧化;
3. 涂胶:涂光刻胶(聚乙烯肉桂酸脂),涂胶后对光刻胶的加固过程:烘烤;
4. 曝光:曝光之前制作掩膜覆盖,在氧化层上刻出扩散窗口,最终成为P/N结二极管的位置;
5. 显影:用显影液去除曝光后硅片上光致蚀剂的过程,显影后还有一步烘烤的工艺:坚膜;用于除去剩余光刻胶,光刻胶对下一工序腐蚀液有抗蚀能力,这样才能保证将硅片上无光刻胶膜保护的氧化层去净;
6. 腐蚀:腐蚀液只能对二氧化硅、铝膜、铬膜等起腐蚀作用,而对硅和其它材料不起作用;
7. 去胶:将光刻胶清洗掉;
8. 杂质扩散:这是杂质的预沉淀,硅片经过适当清洗后,根据不同二极管类型要求,扩散不同的杂质;
9. 驱入:硅片再经适当清洗后,进行杂质的再分布,在未被氧化层保护的区域形成n+ ~ P结(“+”表示高掺杂);
10. 金属化:将器件与外部连接起来;淀积金属膜有溅射和蒸发两种方法,通常还需要在低温下退火来改善金属层与硅之间的接触阻抗;
11. 涂胶:通过光刻胶去除扩散结区之外多余的金属膜;
12. 曝光Mask2板:黑色部分不透光,四周白色部分为刻蚀金属的位置;
13. 显影;
14. 腐蚀:将边上金属腐蚀清除;
15. 去胶:完成金属化接触后,对器件进行塑封或则密封在金属管壳内。
2,二极管PN结电荷运动描述
我们再来定性地回顾下二极管PN结电流的形成机制,如下图所示:
1. 如下图(a)图为平衡状态下的能带图,在上一章中我们已解释过:N区的“自由电子”在扩散过程中“遇到”的势垒:eVbi阻止了高浓度“自由电子”流向P区并滞留在N区内;同理P区的“空穴”也被滞留在了P区内,从而势垒维持了热平衡。
2. 如下图(b)表示反偏状态下PN结能带图,此时N区相对P区加正电压,所以N区的费米能级要低于P区内的费米能级,P区与N区的势垒高度增加了:eVbi+Vr;由于势垒高度更高,继续阻止“自由电子”和“空穴”的流动,所以PN结内基本没有电荷流动。
3. 如下图(c)表示正偏状态下的PN结能带图,此时P区相对于N区加正电压,所以P区的费米能级要低于N区的费米能级,总势垒高度降低了:eVbi-Vr,这意味着空间电荷区的电场也随之减弱,“自由电子”和“空穴”不能分别滞留在N区和P区;于是PN结内就有了一股由N区到P区的电子流,以及由P区到N区的空穴流。