溅射靶材使用时的注意事项有哪些(溅射靶材使用时的注意事项是什么)

导语：溅射靶材使用时的注意事项

溅射靶材的要求较传统材料行业高,一般要求如,尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制;较高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成分与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等.这些高要求使得我们在使用溅射靶材时更加要注意.

1.溅射准备

保持真空腔体尤其是溅射系统干净是非常重要的.短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的.为保持镀膜的成分特性,溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,达到工艺所要求的真空度.靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢.

2.靶材安装

靶材安装过程中最重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接.如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶.

2.1安装金属靶材

拧紧目标夹具时,先用手拧紧一个卸扣,然后用手在斜线上转动另一个卸扣,重复此操作,直到所有卸扣都安装好.

2.2安装陶瓷靶材

不建议将陶瓷靶体嵌入过紧.拧紧螺钉后,建议将螺钉返回半圆形,以避免溅射过程中靶体因体积膨胀而破裂.

3.短路和密封性检查

安装目标材料后,需要对整个阴极进行短路和密封检查.建议用电阻表摇动手表,判断阴极是否短路.阴极无短路后,可进行泄漏检查,将水送至阴极,确定是否有泄漏.

4.靶材预溅射

靶材预溅射建议采用纯氩气进行溅射,可以起到清洁靶材表面的作用.靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率.推荐陶瓷靶材的功率增长速率为1.5W/cm2.金属靶的预溅射速度可快于陶瓷靶,合理功率为1.5Wh/cm2.对靶体的电弧进行预溅射检查,预溅射时间一般在10分钟左右.如果没有电弧,溅射功率将继续增加到设定功率.

5.溅射靶材的环境维护

为了避免过程中需要分阶段清除溅射轨道中间和两侧沉积的溅射材料,以帮助用户在溅射功率密度下连续执行溅射.黑暗区域的盾牌,腔壁和邻近的表面也需要保持清洁.清洁真空室时,建议用玻璃球喷砂处理脏部分,用压缩空气去除真空室周围的飞溅残留物,然后用渗铝砂纸轻轻抛光表面.用酒精、丙酮和去离子水清洗纱布,建议用工业真空吸尘器辅助清洗.

免责声明:本站部份内容由优秀作者和原创用户编辑投稿，本站仅提供存储服务，不拥有所有权,不承担法律责任。若涉嫌侵权/违法的，请反馈，一经查实立刻删除内容。本文内容由快快网络小娴创作整理编辑！