离子镀膜的基本原理是什么(离子镀膜的原理和特点)

导语：离子镀膜的基本原理

离子镀是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。它兼具蒸发镀的沉积速度快和溅射镀的离子轰击清洁表面的特点，特别具有膜层附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点，因此这一技术获得了迅速的发展。

实现离子镀有两个必要的条件∶

①造成一个气体放电的空间;

②将镀料原子（金属原子或非金属原子）引进放电空间，使其部分离化。

目前，离子镀的种类是多种多样的。镀料的气化方式以及气化分子或原子的离化和激发方式有许多类型;不同的蒸发源与不同的离化、激发方式又可以有许多种的组合。实际上许多溅射镀从原理上看，可归为离子镀，也称溅射离子镀，而一般说的离子镀常指采用蒸发源的离子镀。两者镀层质量相当，但溅射离子镀的基底温度要显著低于采用蒸发源的离子镀。

（摘自《气相沉积薄膜强韧化技术》侵权必删）

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