硅微电容压力传感器的核心是(硅电容式集成传感器有什么特点)

导语：仪表工试题——硅微电容传感器的结构和特点

2-59什么是硅微电容传感器？它有什么特点？

答 硅微电容传感器是富士智能变送器中的敏感元件。它是一个电容，体积特别小，只有9×9×7mm，用硅材料制成，故称硅微电容传感器。

图2-18为硅微电容传感器结构示意图。电容的三个极是在晶体硅薄片上经过等离子刻蚀等一系列微机械工序加工而成，中间的为可动电极1（又称测量膜片），两边的则为固定电极2，三个极片构成两个差动电容，高压力Ph和低压力Pl分别

通过金属化的通孔3作用在测量膜片的两边。当Ph和Pl不等时，膜片便产生与Ph和Pl之差成比例的位移，于是一边的电容增加，另一边的电容减少，这种硅微电容传感器的特点是：

1—测量膜片（单结晶体硅）；2—固定电极；3—金属化的通孔；

4—陶瓷；5—引线：6一电极

①　体积小，功耗低，响应快，便于集成；

②　构成电容的硅材料性能优良，膨胀系数只有不锈钢的1/4，硅的弹性滞后小，没有疲劳，因而仪表的温度性能好，零点稳定，不需经常调整；

③　硅膜片的工作位移只有4μm，所以位移与压力的线性关系好。加上测量膜片采用沟状结构，其移动接近理想的平行板电容器，故仪表的线性好，精度高。

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